2inch 超光滑超高反射率(＞99.99%) 反射鏡
環形激光陀螺儀組件或某些科學應用中的所謂超鏡需要具有低損耗（即吸收和散射）的鍍膜光學元件。這些反射鏡還具有 R > 99.998% 和總損耗 < 10 ppm 的大反射率。
筱曉使用德國改進的 IBS 機器，能夠在超拋光基材上生產涂層。機器和環境的清潔度在用的超凈室中保持，并在此進行廣泛的基材預處理和后處理。
用于檢查程序的測量設備，例如白光輪廓儀和高分辨率顯微鏡（高達 x 1000）已經到位。定制的腔衰蕩設置允許以多四位小數的精度確定反射并參考損耗。
位于耶拿的弗勞恩霍夫應用光學和精密工程研究所測量了我們當生產的 633 nm 超鏡的總背散射（TSB，如 ISO 13696 中所述），并達到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合計相當于至少 99.998% 的反射率。對于更長的波長，甚至可以達到 99.999%，這非常接近 R = 100% 的完美激光鏡。
結果已通過我們的內部腔衰蕩設置和散射測量得到證實。對于上述值，使用表面粗糙度 < 1 Å rms 的超拋光基板是必不可少的。用白光輪廓儀檢查它們的質量。下面是一些測量值：
| Scatter TSB | Absorption | Reflection CRD | |
| HR 532 nm / 0° | 4.9 ppm1) (int. ARS) | 10.2 ppm 2) | > 99.997% 2) (T~5 ppm) |
| HR 633 nm / 0° | 1.1 ppm 1) | > 99.998% (T~5 ppm) | |
| HR 1064 nm / 0° | (< 1 ppm) 3) | < 2 ppm 4) | > 99.999% (T~5 ppm) |
| HR 2940 nm / 0° | 24 ±12 ppm6) | 99.994% 5) (T=36 ppm) | |
1) Measured at IOF Jena;
2) Measured at LZH;
3) Calculated from surface roughness;
4) Measured at ILT Aachen;
5) measured by customer;
6) 1-R-T
| 材質 | 紅外熔融石英 Infrasil |
| 形狀 | 圓形 |
| 直徑(Ø) | 50.8(-0.1 mm) |
| 厚度(t) | 9.5 mm (±0.1 mm) |
| 邊緣厚度 | 9.5 mm |
| 平行度 | 5ʹ |
| Guaranteed Roughness | Flatness | Availability | |
| Premium | RMS<0.2 nm*(<2Å) | <λ/20 | Ø12.7-25 mm |
| superpolished | RMS<0.1 nm*(<1Å) | <λ/10 | on request |
* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um
| 光學參數 | 正面(S2) | 光學參數 | 背面(S1) |
| 形狀 | 凹面 | 形狀 | 平面 |
| 曲率半徑 | 1,000 mm (±1 %) | 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) |
| 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) | 測試區 Øe | 20 |
| 測試區 Øe | 20 | 曲面容差 | 3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm] |
| 曲面容差 | 3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm] | 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
| 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
我們的測試方案：
測試曲線
AR(0°,1600-1700nm)<0.25%
HR(0°,1600-1700nm)>99.99%, T(0°,1650nm)~0.002% (Low Loss)
定制產品提供參數示例
型號列表
| 波長 | 基片材料 | 數量 | 直徑(英寸) | 曲率 | 反射率 | 入射角 | 光楔 | PN # |
| 2327 | Infrasil 302 | 7 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-2327 |
| 2004 | Infrasil 302 | 3 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-2004 |
| 2050 | Infrasil 302 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-2050 |
| 1742 | Infrasil 302 | 5 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1742 |
| 1650 | Corning 7980 | 5 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1650 |
| 1600 | Corning 7980 | 9 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1600 |
| 1550 | Corning 7980 | 10 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1550 |
| 1550 | Corning 7980 | 2 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1550 |
| 1512 | Corning 7980 | 2 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1512 |
| 1434 | Infrasil 302 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1434 |
| 0760 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.995 % | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
| 0760 | Corning 7980 | 4 | 1.0" | 1m ROC | > 99.995 % | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
| 1392 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | 30ʹ | CRD-126-49-1392 |
| 0633 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-0633 |
| 1064 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-1064 |
更新時間：2023/5/24 17:35:26
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