純水工藝流程
1.預(yù)處理→1級(jí)反滲透→2級(jí)反滲透→純水箱→純水泵→用水點(diǎn)(產(chǎn)水電阻率大于0.5 MΩ.cm)
2. 預(yù)處理→反滲透→純化水箱→離子交換器→純水泵→用水點(diǎn) (水電阻率大于10 MΩ.cm)
3.預(yù)處理→1級(jí)反滲透→2級(jí)反滲透→EDI裝置→純化水箱→純水泵→用水點(diǎn)(產(chǎn)水電阻率大于15 MΩ.cm)
4.預(yù)處理→1級(jí)反滲透裝置→2級(jí)反滲透裝置→中間水箱→紫外除T0C裝置→脫氣裝置→EDI裝置→紫外除T0C裝置→脫氣裝置→氮封純水箱→雙級(jí)拋光混床→終端超濾裝置→用水點(diǎn)(產(chǎn)水電阻率大于18 MΩ.cm)
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