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TG2U型光刻機

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：其他
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2022-11-05 17:58:40
  • 瀏覽次數(shù)：15
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北京仝志偉業(yè)科技有限公司

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  • 經(jīng)營模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：373條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊時間：2016-05-27
  • 最近登錄：2022-11-02
  • 聯(lián)系人：趙永先
  • 電    話：13701314315
產(chǎn)品簡介

型 號： TG2U 分 辨率： （mm） 加工定制： 是 放大倍率： 操作方式： 測量精度： μm 外形尺寸(長*寬*高)： mm

詳情介紹
【商品名稱】：TG2U型光刻機  
【生產(chǎn)廠家】：同志科技
【商品規(guī)格】：TG2U		  

【商品簡介】：

產(chǎn)品特點：
TG2U型光刻機是制造中，大規(guī)模集成電路，傳感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻設備。
歡迎您聯(lián)系我們獲得光刻機(TG2U型)的更多信息。
 

【備　　注】：

TG2U型光刻機主要技術(shù)參數(shù)見下表：


項目

參數(shù)

適用的掩模尺寸

a.100X100X2－3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(選購)；

適用的硅片尺寸

φ35—75mm

光刻圖形線條

3-4μm, 最細可達2μm

掩模與硅片之間的相對位移范圍

X/Y±2.5mm,(族轉(zhuǎn)) ±6°

承片臺(硅片)繞主軸旋轉(zhuǎn)

粗調(diào)360度,可微調(diào)

承片工作臺綜合移動范圍

X,Y合成φ75mm

承片臺的球座平面至掩模板面升降

0—7.5mm

曝光燈源

GCQ200W超高壓汞燈，曝光波長，300―436nm

曝光系統(tǒng)能量不低于

7mw

曝光系統(tǒng)的照度均勻度在φ75mm范圍內(nèi)

±5％

顯微鏡的照明波長

≈545nm

曝光時間控制范圍

0.1秒—99分

雙目顯微鏡的放大倍數(shù)

a.目鏡共二種:10X,16X；b.平視場物鏡共三種:6X,9X,15X；c.合成放大倍率:60X—240X；

真空接觸壓力

≥0.7kgf

裝箱尺寸

1000X850X980mm(2只)

裝箱重量

200kg

注：用戶有何特殊要求可協(xié)商。

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