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北京仝志偉業科技有限公司
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擴散爐TK180

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:
  • 品牌:
  • 產品類別:其他
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2022-11-05 18:04:46
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北京仝志偉業科技有限公司

其他

  • 經營模式:其他
  • 商鋪產品:373條
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  • 聯系人:趙永先
  • 電    話:13701314315
產品簡介

型 號: TK180 分 辨率: (mm) 加工定制: 是 放大倍率: 操作方式: 測量精度: μm 外形尺寸(長*寬*高): mm

詳情介紹
商品名稱】:擴散爐TK180  
生產廠家】:同志科技
商品規格】:TK180
 
商品簡介】:
         擴散爐專門設計用于半導體材料擴散、氧化工藝;同時也用于太陽能電池行業的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜(LPCVD)工藝。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,氣煉石英管作為爐膛, 可預抽真空并可通入參與反應沉積的氣體。
   溫度控制系統選用日本進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區設計隔板結構,恒溫區溫度均勻。進口或國產氣氛控制系統,質量流量計控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、溫區間溫度擾動小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想企業的研制、生產設備。
 
備  注】:
主要技術參數見下表:

項目
參數
爐膛尺寸 ф180(外徑)×2200 mm
加熱區長 700 mm
溫區點數 3 點/單管
工作溫度 RT~ 1200℃ (爐溫 1250℃ )
控制精度 ±1 ℃
報警保護 超溫、欠溫、斷偶、等報警保護
升溫功率 12 KW/單管
重量 550 Kg

注:用戶有何特殊要求可協商。
注意:如果產品升級恕不另行通知,網站及資料會同步升級,并以實物為準!

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