高純氣體分析檢測
2022年12月06日 10:49:20
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高純氣體分析檢測儀器-高純氣體分析色譜儀
一、關于高純氣體(High Purity Gases)
高純氣體:氣體工業名詞,通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業,高純氮,氫,氬,氦可作為運載氣,保護氣和配制混合氣的底氣。
瓶裝高純氣體分析,(高純氯氣,高純氧氣,高純氦氣,高純二氧化碳,高純氮氣等)特種氣體,標準氣體,液態氣體分析色譜儀。
二、應用領域
[氣體分析色譜儀]
氦離子·高純氣體分析專用氣相色譜儀·應用領域:
高純氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點.目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導(TCD)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質;而氬離子檢測器又往往帶有放射源,均不能達到高純氣體分析的基本要求.隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經不能完成對高純氣體中微量雜質的檢測.
三、氣體分析色譜儀·滿足標準:
GB/T 8980-1996《高純氮》
GB/T 14599-93 《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》
GB/T 10624-1995 《高純氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》
四、色譜儀介紹:
[氣體分析色譜儀]
一、 氦離子化檢測器
二、 PDHID是利用氦中穩定的,低功率脈沖放電作電離源,使被測組分電離產生信號。PDHID是非放射性檢測器,對所有物質均有高靈敏度的正響應。
1.脈沖放電間隔和功率:高純氣體分析PDHID中放電電極距離為1.6mm,改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。充電時間越長、功率越大。一般脈沖間隔為200-300μs,充電時間在40-45μs,基流和響應值達。因放電時間僅為1μs,而脈沖周期達幾百微秒,絕大部分時間放電電極是空載。所以放電區不會過熱。
2.偏電壓在放電區:相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達飽和。在飽和區響應值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區內工作,噪聲較低?;髋c偏電壓的關系同響應值與偏電壓。
3.通過放電區的氦流速:高純氣體分析氦通過放電區有兩個目的:a 保持放電區的潔凈,以便氦被激發;b 它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時間。只是它和傳統的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul,對峰寬為5s的色譜峰,要求氦流速.8-13.6ml/min,如果峰寬窄至1s,流速應提高到34-68ml/min,以保持被測組分在檢測器的滯留時間短至該峰寬的10%-20%。
電離方式和性能特征:高純氣體分析 PDHID的電離方式尚不十分明朗,綜合文獻敘述,電離過程有三部分組成:a 氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離;b 被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB,產生信號,或直接電離載氣和雜質產生基流;c 亞穩態氦與組分反應電離產生信號,或與雜質反應電離產生基流。
e + AB→AB+ + 2e
e + He→He**→ He* + hν
He* + AB→AB+ + e + He
下面是我公司提供的一款氣體分析色譜儀的技術參數,由此可以良好的體現此款儀器在高純氣體分析上的應用。
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