熱式氣體質量流量計起源與發展，熱式氣體質量流量計起源于美國，恒功率式與恒溫差式分別自上世紀60年代、70年****始出現。
一個發展路線起源于熱式流量開關（Thermal flow switches），熱式流量開關用于檢測油田上油水混合的輸油管線中是否有混合物的流動。FCI公司（Fluid Components International）的創始人麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane），在1964年，美國一家石油公司的現場需要判斷冬季的輸油管線??的油水混合物是流動還是凍結著，麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（BobDeane）開發了熱式流量開關以解決上述問題，同時他們的熱式流量開關根據用戶的需要可以提供一個精度不高的百分比的流量指示輸出，到了1981年FCI公司正式推出基于恒功率原理的熱式流量開關技術，與現代成熟的電子技術結合的熱式流量計。
渦輪流量計,氣體渦輪流量計,羅茨流量計
另一個發展路線是將熱線式風速計技術應用于工業環境下（在此之前熱線式風速計于實驗室環境使用），約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）, Sierra Instruments的創始人.在麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane）開發了熱式流量開關的同一時期，John Olin and Jerry Kurz在斯坦福大學的一個研究項目的同事，在實驗室中采用Thermo-Systems Inc. (TSI)的熱線式風速計（hot-wire anemometers）用于實驗項目中。那時，TSI是世界上為數不多的為實驗研究領域生產熱線式風速計（hot-wire anemometers）的公司之一。熱線式風速計作為熱式流量計的一種，起源于1900s，用于測量流體剖面的流速，有響應速度快的優點，傳感器小、易碎，不適合在工業場合應用。幾年后，約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）從斯坦福大學畢業，加入在明尼蘇達州的TSI公司工作，從1968年到70年代早期，兩人一直在TSI開發部門工作，主要研究HAVC領域的風速儀。后來，他們離開了TSI公司，開始在一起研究自己的熱式氣體質量流量計，他們清楚熱線式風速計不適合在工業場合應用。早期的產品是空氣風速儀和風速傳感器，以及空氣取樣產品，這就是Sierra Instruments的初期產品基礎。Sierra Instruments在1973年成立于明尼蘇達州。1975年Sierra Instruments自明尼蘇達州搬到加利福尼亞州，合作了幾年后，1977年兩人分家，約翰-歐林博士保留Sierra Instruments以及空氣取樣產品，杰瑞- Kurz博士成立了Kurz Instrument，并得到了原公司的空氣風速儀和風速傳感器產品。
到了上世紀90年代的早期，美國國家采用CEMS測量污染物的大氣排放量（SOX、NOX等），傳統的單點流量測量不能滿足要求，熱式有不易堵塞的特點，出現了多點熱式流量測量系統（Multipoint thermal flowmeters），有些系統達到了16個測量點。
