了解我們指標(biāo)的含義很重要：
以往，僅憑生產(chǎn)商提供的產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)對產(chǎn)品進行評估和選購是非常危險的做法。
如今，由于市場對高精度和高穩(wěn)定性的追求，迫切需要客戶對運動控制產(chǎn)品性能參數(shù)的源由有一個清晰的了解。
我們的承諾：
采用4σ準(zhǔn)則，而不是數(shù)據(jù)更好看的RMS。
由于位移控制的誤差分布不符合正態(tài)分布，我們給出的雙向重復(fù)定位精度，采用比3σ更為嚴(yán)苛的4σ準(zhǔn)則。這保證在最糟糕情況下提供99%精確的可重復(fù)性數(shù)據(jù)。也就是說，100次移動到同一位置，其99次以上都可以停留在的誤差范圍內(nèi)。
當(dāng)采用RMS準(zhǔn)則時，相當(dāng)于1倍σ規(guī)格，所以當(dāng)以RMS標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品標(biāo)注1um精度時，其性能只能與4σ標(biāo)準(zhǔn)的4um精度相當(dāng)。
定義：-----------------------------------------旋轉(zhuǎn)臺相關(guān)參數(shù)----------------------------------------
徑向跳動：
當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)一周的過程中，旋轉(zhuǎn)中心與其平均位置的徑向偏差。
軸向跳動：
當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)一周的過程中，臺面在旋轉(zhuǎn)軸方向的變化大小。
--------------------------------------------基本參數(shù)--------------------------------------------
行程：
在保證精度的情況下，運動系統(tǒng)的運行距離。
負(fù)載：
對于線性平臺而言，這是指可施加給平臺的負(fù)載，且質(zhì)量負(fù)載中心位于平臺的中心，垂直于運動軸和平臺表面。對于旋轉(zhuǎn)平臺而言，這是指旋轉(zhuǎn)軸上的負(fù)債。（Feinixs針對偏心安裝的負(fù)載有特色設(shè)計，請咨詢工程師）
速度：
速度是指在額定負(fù)載的狀態(tài)下，系統(tǒng)能夠持續(xù)穩(wěn)定運行的速度。對于短行程位移臺，其行程的限制也是制約運動系統(tǒng)速度的關(guān)鍵影響。
分辨率：
運動系統(tǒng)可測量的最小量。（注意分辨率并不等于最小運動增量，能分辨不能代表能夠以分辨率做最小步長運動）
最小運動增量：
最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運動增量。考慮傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。
準(zhǔn)確度：
準(zhǔn)確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用圖1所示的打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。（Feinixs所有產(chǎn)品的準(zhǔn)確度由通過第三方計量標(biāo)定過的激光干涉儀測定，其具體測量方法見附錄。）Feinixs免費為每一臺出廠產(chǎn)品提供檢測報告 圖1. 準(zhǔn)確度與重復(fù)精度的區(qū)別
單向重復(fù)定位精度：
圖1給出了準(zhǔn)確度與重復(fù)精度的區(qū)別。單向重復(fù)定位精度是指，多次從同一方向移動到位置的重復(fù)性指標(biāo)。其具體計算方法見附錄。值得注意的是，F(xiàn)einixs采用的4σ標(biāo)準(zhǔn)，而非RMS。Feinixs免費為每一臺出廠產(chǎn)品提供檢測報告
雙向重復(fù)定位精度：
圖1給出了準(zhǔn)確度與重復(fù)精度的區(qū)別。雙向重復(fù)定位精度是指，多次從兩個方向移動到制定位置的重復(fù)性指標(biāo)。雙向重復(fù)定位精度與單向重復(fù)定位精度越接近，說明其雙向運動差異（由回程誤差、摩檫力等因素引起）越小。其具體計算方法見附錄。值得注意的是，F(xiàn)einixs采用的是4西格瑪標(biāo)準(zhǔn)，而非RMS。Feinixs免費為每一臺出廠產(chǎn)品提供檢測報告
--------------------------------------------非軸向參數(shù)--------------------------------------------
只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達到高水準(zhǔn)要求，運動系統(tǒng)的準(zhǔn)確度、重復(fù)定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準(zhǔn)確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當(dāng)客戶對平臺運動有更高要求時，以下參數(shù)是需要考慮的。
由圖2可以直觀了解運動系統(tǒng)基本參數(shù)的物理意義。
運動平臺以右手XYZ直角坐標(biāo)系為標(biāo)準(zhǔn)，其原點位于平臺表面的中心。X方向是軸向運動的正方向，Z方向是垂直于臺面向外的方向，Y方向指向水平方向。運動過程中，平臺以X為軸旋轉(zhuǎn)的運動稱為滾動（Roll）,以Y為軸旋轉(zhuǎn)的運動稱為俯仰（Pitch），以Z為軸旋轉(zhuǎn)的運動稱為偏擺（Yaw），以上三個參數(shù)如圖2（a）所示。
理想情況下，在運動過程中，平臺中心僅沿X方向運動，無Y、Z兩方向分量，但是由于導(dǎo)軌、傳動裝置、加工精度等影響會導(dǎo)致平臺中心偏離Y軸，產(chǎn)生Y、Z兩個方向的移動。在Y方向的移動量稱之為直線度（Straightness）。在Z方向的移動量稱之為平整度(Flatness)，以上兩個參數(shù)如圖2（b）所示。
圖2. 非軸向參數(shù)的示意圖（圖片引用 from Newport）
--------------------------------------------附錄----------------------------------------------
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