什么是掃描電子顯微鏡?
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)是應用電子束在樣品表面掃描激發二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與成分。
掃描電子顯微鏡有哪些優點?
1、電子束對樣品的損傷與污染程度較小;
2、在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析;
3、樣品制備過程簡單,不用切成薄片;
4、能夠直接觀察樣品表面的結構,樣品的尺寸可大至120MM×80MM×50MM;
5、樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉,因此,可以從各種角度對樣品進行觀察;
6、景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍;
7、圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3NM。