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聚焦智能控制、測量與信號處理 IEEE-ICMSP 2022在杭州開幕
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2023年06月06日 12:01:48 來源:威格氣體純化科技(蘇州)股份有限公司 >> 進入該公司展臺 閱讀量:35
手套箱的泄漏率是手套箱最重要的一個指標,指的是在設定的壓力下,通常在負壓下,單位時間 內空氣泄漏入手套箱的速度,通常以每小時泄漏多少個箱體體積,即vol/h來描述。例如,將箱壓為-10mbar下,在4小時內1升空氣泄漏入一個單工位 手套箱(箱體體積為750升),其泄漏率=1升/750升/4小時=1/3000=0.03%/小時。
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