PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法
開機前注意檢查，循環水是否打開（壓力足夠），氮氣閥門是否打開（壓力足夠）
1.打開設備電源開關，人機界面啟動；
2.在人機界面參數設定中編輯需求工藝；
3.返回主界面，選擇工藝序號；
4.選擇程式運行，確認運行；
5.程序運行結束，打開箱門，拿出產品
6.關閉箱門。
PI/BCB固化真空無氧烘箱適用工藝：
PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化，半導體封裝等，也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影等。
PI/BCB固化真空無氧烘箱技術性能：
內腔尺寸：3500*350*350/自定義
溫度范圍：RT+30～450℃；
溫度波動度：±1℃；
控精度：0.1℃;
氧濃度：10ppm
真空度：100pa
降溫方式：快速降溫
操作方式：人機界面，智能型一鍵運行；
內膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作；
外殼材料：采用優質冷軋板噴塑；
置換氣體：氮氣；
電源：380v/50Hz，5KW；
支撐裝置：腳杯和萬向輪；
廠商品牌：雋思。
高溫無氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS真空烤箱，硅烷蒸鍍機，無塵無氧烤箱，氮氣烤箱，超低溫試驗箱，快溫變試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，高低溫沖擊試驗箱等設備，以及非標定制。---上海雋思儀器專業生產/服務！
