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1、觀察照相室
電子圖像反映在熒光屏上。熒光發(fā)光和電子束流成正比。把熒光屏換成電子干板，即可照相。干板的感光能力與其波長(zhǎng)有關(guān)。
2、真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、離子泵、真空丈量?jī)x表及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內(nèi)氣體，使鏡筒真空度至少要在10-5托以上，目前真空度可以達(dá)到10-9—10-10托。假如真空度低的話(huà)，電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度，還會(huì)使電子?xùn)艠O與陽(yáng)極間高壓電離導(dǎo)間放電，殘余的氣體還會(huì)腐蝕燈絲，污染樣品。
3、供電控制系統(tǒng)
加速電壓和透鏡磁電流不穩(wěn)定將會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的色差及降低電鏡的分辨本領(lǐng)，所以加速電壓和透鏡電流的穩(wěn)定度是衡量電鏡性能好壞的一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)。透射電鏡的電路主要由以下部分組成，高壓直流電源、透鏡勵(lì)磁電源、偏轉(zhuǎn)器線(xiàn)圈電源、電子槍燈絲加熱電源，以及真空系統(tǒng)控制·電路、真空泵電源、照相驅(qū)動(dòng)裝置及自動(dòng)曝光電路等。
另外，很多高性能的電鏡上還裝備有掃描附件、能譜議、電子能量損失譜等儀器。
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