氣氛爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。
氣氛爐的冷卻系統是高溫真空氣氛爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是高溫真空氣氛爐工作時常披忽視的問題當無人管理時可能會導致高溫真空氣氛爐的重大毀壞。用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。真空氣氛爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的費用修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
