日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數字質量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現高精度和高速響應。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數字質量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現高精度和高速響應。
出色的零點穩(wěn)定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過旋轉旋轉開關，可以使用主機中注冊的氣體類型。
符合RoHS / CE標準。
引出單元是一種方便的單元，可以與質量流量控制器或帶有電纜的質量流量計一起使用，以使用質量流量的基本功能（例如流量測量和控制）以及流量積分功能和流量事件輸出功能。
產品規(guī)格
| 型號 | EX-250S-C |
|---|---|
| 電源電壓 | ±15V |
| 合身 | 1 / 4F900（126.6毫米） |
| 流動性 | N 2 |
| FS流量 | 10SCCM |
| 標定溫度 | 20℃ |
| 輸入信號 | 電壓輸入 |
| 輸出信號 | 電壓輸出 |
| 工作壓力 | 150?300kPa |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 閥門系統(tǒng) | 比例電磁閥（未通電時關閉） |
| 目標氣體 | N 2 |
| 流量范圍 | 10SCCM |
| 控制范圍 | 2?100％（FS） |
| 反應性 | 1秒內的總流量控制范圍（在±2％FS之內），150kPa至300kPa |
| 準確度 | FS±1.0％ |
| 重現性 | FS±0.2％ |
| 工作壓差 | 50?300kPa |
| 大入口壓力 | 500kPa（克） |
| 耐壓性 | 980kPa（大） |
| 他漏率 | 1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下 |
| 容許環(huán)境溫度 | 5?50℃ |
| 精度保證溫度 | 15?35℃ |
| 儲存溫度 | -10?60℃ |
| 容許環(huán)境濕度 | 相對濕度10至90％（無凝結） |
| 氣體接觸零件 | SUS316，SUS316L，電磁不銹鋼（僅控制器），PTFE，FKM |
| 電氣連接 | Dsub引腳KFC標準（符合SEMI標準）HR-10A |
| 流量設定輸入信號 | 0至5VDC（輸入阻抗約1MΩ） |
| 流量輸出信號 | 0至5VDC（負載電阻10kΩ或更高） |
| 數字信號 | 通過RS485旋轉開關設置地址 |
| 所需功率（直流） | + 15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下或+ 24VDC（±10％）180mA以下 |
| 安裝方向 | 水平 |
| 機重 | 約500克 |
| 數量 | 1個 |
| 單位 | 件 |
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