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KDB-1涂層/薄膜方塊電阻測試儀

1、概述

隨著新型電子薄膜、半導體薄膜和金屬箔的不斷發展，市場現有的四探針方阻測試儀所提供的測試條件，如量程、探針壓力、曲率半徑、測試電壓及測試電流的調節范圍已遠遠不能滿足新型薄膜的測試要求。

KDB-1按照國際標準SEMI MF374-0307的要求，對不同厚度、不同材質的薄膜采用不同的探針壓力及曲率半徑，以保證探針接觸樣品表面時不會產生機械損傷，同時加載到樣品上的電壓和測試電流方面，實現了廣量程調節，電流從最小的0.2μA可上調到1000mA，1、4探針加載到樣品上的電壓從最小8V可上調到80V；同時在探針與樣品接觸后才延時通電，保證不會因接觸火花或過大的電流，過高的電壓在電氣上損傷薄膜。

2. 技術參數

（1）測量范圍

方阻測量范圍：1×10-5～2×106Ω/□，最小分辨率1×10-5Ω/□

電阻率測量范圍：1×10-6～2×105Ω·cm，最小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·cm

金屬箔最小電阻率：1×10-8Ω·m，最小分辨率1×10-8Ω·m

（2） 測試電壓

（1μA～10 mA檔）12～80V連續可調

（100mA檔） 8～36V連續可調

（1000mA檔） 8～15V連續可調

（3） 恒流源

測量電流：DC 0.4μA～1000mA 七檔連續可調

量程： 0.2μA～1μA、2μA～10μA、20μA～100μA、0.2mA～1mA、2mA～10mA、20mA～100mA、200mA～1000mA

（4）直流電壓表

1μA～10mA檔，測量范圍：0～199.99mV，分辨率：10μV

100mA、1000mA檔，測量范圍：0～19.999mV，分辨率：1μV

（5） 供電電源

AC 220V±10%，50/60Hz，功率40W

（6） 使用環境

溫度：23±2℃，相對濕度≤60%

（7）重量、體積

主機重量：9Kg，體積：495×445×153（單位mm，長×寬×高）

該儀器可選配KDY四探針測試系統連接計算機軟件進行測量，測試結果更加準確、簡便，測量數據自動保存，可進行導出excel等操作，便于保存數據

KDY四探針測試軟件系統測量界面