RTS-5型雙電測四探針測試儀
RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。
RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技?術(shù)?指?標(biāo) ：
測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)； |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機(jī)測量相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
測試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時使用。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)值、最小值、平均值、百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
計算機(jī)通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； |
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