1．技術特征
l 高倍率雙目雙視場顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果和方便存儲
l 采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好
l 對準位和曝光位雙工位工作，雙工位自動切換
l 采用嵌入式計算機+觸摸屏操作，操作更方便，更時尚
l 上下片、版十分方便，自動化程度高，操作簡便。對高校教學科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜
2．技術參數
l 曝光面積：100mm×100mm（可升級為6英寸）
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：≤1mm（膠厚1.5 mm的正膠）
l 對準精度：±0.6mm
l 顯微鏡掃描臺運動范圍：X：10mm;Y:10mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規則片）
厚度0.1mm--6mm
l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數400倍，光學+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 調平接觸壓力通過傳感器保證重復
l 數字設定對準間隙和間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?
l 焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
l 光源平行性：3 ?
l 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面溫度<35 ?C
l 單層曝光一鍵完成
l 采用球氣浮+三爪找平
l 汞燈功率：350W（直流，進口）
3．外形尺寸：1400mm（長）?900mm(寬) ?1500mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
l XYZ汞燈調節臺
l 冷卻風扇
l 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2
（2）對準工件臺
l 光刻機底座
l 工位切換臺（氣缸）
l 掩模樣片整體運動臺
l 掩模樣片相對運動臺
l 轉動臺
l 樣片調平機構,三點自動完成
l 樣片調焦機構，電機自動調
l 基片抽拉式上下機構
l 承片臺4個：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（可按用戶要求增減）
l 掩模夾4個：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）
l 樣片抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
l 光源、 電源
l 雙目雙視場對準顯微鏡主體
l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
l CCD對準系統，22寸液晶顯示器
（4）電控系統
l 汞燈觸發電源(350W直流汞燈)
l 單片機控制系統
l 控制面板
l 控制柜桌
（5）氣動系統
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
l 電磁閥驅動
l 氣動儀表
（6）其他附件
l 真空泵一臺
l 空壓機一臺
l 配套接口管道
（7）技術資料
l 使用維修說明書
l 產品檢驗合格證
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。