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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多溫區(qū)烘膠臺(tái)（WH-HP-02）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，可以用于光刻工藝中烘膠工藝，包括前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升溫。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫，升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。此外，此儀器特點(diǎn)是具有3個(gè)溫控區(qū)域，可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度，可同時(shí)/單獨(dú)工作，克服了常規(guī)烘膠臺(tái)只有一個(gè)溫控區(qū)域，需要多個(gè)溫度控制時(shí)必須來回切換升溫/降溫的缺點(diǎn)，極大提高了烘膠效率，以及烘膠過程的溫度一致性。

多溫區(qū)烘膠臺(tái)（熱板/烤膠機(jī)）使用說明書下載

技術(shù)參數(shù)

2烘膠溫度：室溫～300℃；

2持續(xù)烘膠時(shí)間：～15min以內(nèi)為宜；

2控溫精度：±1℃；

2溫度均勻性：＜±5%；

2烘膠板規(guī)格：φ210 mm（7寸）；φ130 mm（5寸）

2參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)；

2控溫形式：PID控溫系統(tǒng)；

2電源輸入：AC220V±10V/50HZ；

2功率：2.5 KW；

2重量：80 kg；

2外形尺寸：580（W）*706（D）*187（H）mm；480（W）*580（D）*200（H）mm

特征圖解

操作界面

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