等離子體光譜分析是應用泛的一種方法。利用物理學和化學實驗所積累的物質發光光譜數據，進行理論分析，能確定識別等離子體中發光物種(特征光譜)、計算電子溫度和激發溫度、測量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質。
等離子輻射光譜過程中都伴隨著電子發射、電離，即等離子體的光和熱輻射等過程，以激光焊接為例對分析焊接技術的物理狀態和過程，探究焊接機理、改進工藝方法和改善焊接質量都具有非常重要的意義。等離子體光譜的優點：1、無介入性，使用間接測量方式，對焊接電弧沒有擾2、信息量豐富，特征譜線的強度、寬度及形態可以反映出電弧電子密度、溫度、電導率等信息3、靈敏度高、響應速度快、抗力強
主要應用
受控熱核聚變（托卡馬克）
空間科學（等離子體推進技術）
生化處理（等離子體滅菌）
微電子與信息產業（半導體材料蝕刻）
材料合成與處理（等離子體沉積和蝕刻）
國防（等離子體隱身技術）
*應用（LIBS技術）
等離子體光譜測量方案
選用多通道光譜儀，搭配多模光纖，實現高分辨率、寬波長范圍的光譜測量。光纖探頭至于四維微型混合調節位移臺，實現空間多點位等離子體測量。搭配專業的測量分析軟件，實時顯示等離子體光譜信息及等離子體的電子溫度、電子密度等參數。下圖為系統探頭支架與某類型激光復合焊接的配合結構示意圖。
技術特點
實時測量等離子體光譜，并計算顯示電子溫度和電子密度；
采用四維混合調節位移臺，實現空間點位等離子體測量；
采用多通道光譜儀，實現高分辨率、寬波長范圍的光譜測量；
軟件實現光譜儀與焊槍頭的聯動控制；
集成元素數據庫。
技術參數
軟件主要功能
1. 自定義測試流程，位移臺運動范圍 2. 實時顯示光譜，計算電子溫度和電子密度
3. 光譜尋峰及元素識別
4. 信息云圖顯示：不同空間點位的電子溫度；電子溫度隨時間
5. 元素信息數據庫顯示
6. 位移臺的單獨控制
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