MX61/MX61L
產品特點:
半導體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應用要求
• 透射和反射照明可同時使用, 極大提高液晶基板觀察效果
MX61/MX61L詳細規格:
| 型號 | MX61型顯微鏡 | MX61L型顯微鏡 |
| 光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正光學系統) | |
| 顯微鏡鏡體 | 射光照明(F.N. 26.5) | 12V100W鹵素燈泡(預定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配) ,轉換使用 內置電動孔徑光闌(每個物鏡可預設,物鏡轉換時自動轉換,暗視場觀測時自動打開) |
| 透射光照明*(F.N. 26.5) | 進行透射光照明時要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB。 采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件(12V100W鹵素燈)或同等光源進行照射。 MX-TILLA:聚光鏡(N.A. 0.5),帶孔徑光闌 MX-TILLB:聚光鏡(N.A. 0.6),帶孔徑和視場光闌 | |
| 觀測方法 | ①反射光明視場法;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡單偏振法;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | |
| 觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標準配置) |
| 換鏡轉盤 | 電動六孔換鏡轉盤,配備滑槽,用于微分干涉襯比法觀測:U-D6REMC型 電動五孔明/暗視野法用轉盤,配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測:U-D5BDREMC型 電動五孔定心換鏡轉盤,配備滑槽,用于微分干涉襯比法觀測:U-P5REMC型 通過顯微鏡前面板上的物鏡轉換按鈕或直接通過U-HSTR2(用戶指定)控制轉換 | |
| 載物臺 | MX-SIC8R 8英寸×8英寸 行程:210×210mm(透射光照明面積:189 x 189 mm) MX-SIC6A 6英寸×6英寸 行程:158×158mm(只能使用反射光) | MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程:356×305mm (透射光照明面積:356×284mm) 與MX-TILLB配合使用 |
| 滾柱導塊結構,帶式驅動系統(無齒條) ,離合功能(帶式驅動脫離系統) | ||
| 能耗 | 內置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz 透射光源(LG-PS2) :100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60 Hz | |
| 體積/重量 | 體積:約509(寬)×843(長)×507(高)mm 重量:約40kg(載物臺約重27kg) | 體積:約710(寬)×843(長)×507(高)mm 重量:約51kg(載物臺約重31kg) |




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