MX61/MX61L
產品特點:
半導體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應用要求
• 透射和反射照明可同時使用, 極大提高液晶基板觀察效果
MX61/MX61L詳細規格:
| 型號 | MX61型顯微鏡 | MX61L型顯微鏡 |
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正光學系統） | |
| 顯微鏡鏡體 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W鹵素燈泡（預定心型） 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配） ，轉換使用 內置電動孔徑光闌（每個物鏡可預設，物鏡轉換時自動轉換，暗視場觀測時自動打開） |
| 透射光照明*(F.N. 26.5) | 進行透射光照明時要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB。 采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件（12V100W鹵素燈）或同等光源進行照射。 MX-TILLA：聚光鏡（N.A. 0.5），帶孔徑光闌 MX-TILLB：聚光鏡（N.A. 0.6），帶孔徑和視場光闌 | |
| 觀測方法 | ①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | |
| 觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標準配置） |
| 換鏡轉盤 | 電動六孔換鏡轉盤，配備滑槽，用于微分干涉襯比法觀測：U-D6REMC型 電動五孔明/暗視野法用轉盤，配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測：U-D5BDREMC型 電動五孔定心換鏡轉盤，配備滑槽，用于微分干涉襯比法觀測：U-P5REMC型 通過顯微鏡前面板上的物鏡轉換按鈕或直接通過U-HSTR2（用戶指定）控制轉換 | |
| 載物臺 | MX-SIC8R 8英寸×8英寸 行程：210×210mm（透射光照明面積：189 x 189 mm） MX-SIC6A 6英寸×6英寸 行程：158×158mm（只能使用反射光） | MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面積：356×284mm） 與MX-TILLB配合使用 |
| 滾柱導塊結構，帶式驅動系統（無齒條） ，離合功能（帶式驅動脫離系統） | ||
| 能耗 | 內置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz 透射光源（LG-PS2） ：100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60 Hz | |
| 體積/重量 | 體積：約509（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約40kg（載物臺約重27kg） | 體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物臺約重31kg） |
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