上海伊豐精密儀器有限公司
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SuperView W1光學3D表面輪廓儀 產(chǎn)品型號：SuperView W1 產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀 影像系統(tǒng)：10241024（20482048，25921944可選） 光學Zoom：1，（0.75，0.5可選） 干涉物鏡：2.5，5，10，20，50 XY平臺：尺寸320200mm，行程140110mm，電控 XY橫向分辨率：0.4m Z軸行程：100mm Z向分辨率：0.1nm 單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復性1nm Z向掃描速度：45m/s 可測樣品高度：100mm 可測樣品反射率：0.05%-99% 水平調(diào)整：5 粗糙度RMS重復性：0.005nm 臺階高測量：準確度＜0.7%，重復性＜0.1% 1 主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
| 物鏡倍率 | 2.5× | 5× | 10× | 20× | 50× |
| 數(shù)值孔徑 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 |
| 可測樣品角度 | 4.3° | 7.5° | 17.5° | 23.5° | 33.4° |
| 光學分辨率@550nm（µm） | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
| 焦深（µm） | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 |
| 工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
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