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真空熱失重分析儀，英文Vacuum Thermal Gravimetric Analyzer，縮寫為VTG。是一種利用熱重法檢測物質在高真空條件下溫度-質量變化關系的儀器。在程序控溫下，主要測量物質的質量隨溫度、時間、真空度的連續變化關系。
當被測物質在加熱過程中有升華、汽化、分解出氣體或失去結晶水時，被測的物質質量就會發生變化。這時熱重曲線就不是直線而是有所下降。通過分析熱重曲線，就可以知道被測物質在多少度時產生變化，并且根據失重量，可以計算失去了多少物質。
若是與在線質譜聯用，還可以準確獲知失去的物質的成分、結構等。
現有的普通的熱重分析儀，通常都會在一定的氣體氛圍中進行，比如高純氮氣或者高純氧氣等環境中。氣體氛圍的存在，會對分解物質的擴散造成影響，對于機理性分析研究造成影響。也可能與物質產生作用，引入其他影響因素。
對于需要研究在隔絕氣體氛圍影響的高真空環境條件下的熱重分析時，就需要用到真空熱重分析。
研究表明，不少物質在即使惰性的氣氛中的熱重曲線，與真空環境下，表現出明顯的差異。而對于該差異的研究，有助于對材料的熱性能進行更進一步的了解，獲取更有價值的數據。
BSD-VTG真空熱重分析儀屬于研究級分析儀器，配備分子泵高真空獲取設備，可進行高真空條件下的熱重分析。可以與在線質譜聯用，形成VTG-MASS組合，為真空熱重分析的手段。