進口工業(yè)自動化設備供應商,國外原廠地采購,有供貨周期,價格需要人工核實。
theta-SE 是用于表征薄膜均勻性的按鈕式光譜橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的包裝中提供*的橢偏儀。為什么是Θ-SE?
集成
theta-SE 配備了 300 mm 樣品映射、小光斑測量光束、快速樣品對準、俯視相機和我們的雙旋轉(zhuǎn)橢偏儀技術(shù)。Theta-SE 擁有測量薄膜厚度和光學特性的空間均勻性所需的一切。
高速
通過使用快速點對點平移、高速樣品對齊和雙旋轉(zhuǎn)橢偏儀技術(shù)來優(yōu)化樣品通量,以實現(xiàn)連續(xù)數(shù)據(jù)收集。
袖珍的
獲得的 Dual-Theta 旋轉(zhuǎn)臺可在小型桌面儀器中實現(xiàn) 300 毫米的完整映射。儀器占地面積僅略大于 300 毫米晶圓。
方便使用的
自動數(shù)據(jù)分析和內(nèi)置報告支持按鈕操作和快速訪問測量結(jié)果。
經(jīng)濟實惠
theta-SE 以合理的價格提供光譜橢偏儀和 300 mm 均勻度映射的強大功能。











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