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◆性能特點：
小型化及可拆卸化設計，非常便于攜帶及教學。激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結構非常穩定，抗干擾性強。
精密探針定位裝置，激光光斑對準調節非常簡便。
單軸驅動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。
自動光學定位，無需調焦，實時觀測與定位探針樣品掃描區域。
彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，防震效果好。集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。
◆測量范圍及應用：
測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號
名稱
技術參數
01
工作模式
輕敲模式、RMS-Z曲線
02
選配模式
接觸、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
選配力曲線
F-Z力曲線
04
XY掃描范圍
20×20um，可選50×50um，100×100um
05
Z掃描范圍
2.5um，可選5um，10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm，縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤90mm，H≤20mm
08
樣品臺行程
15×15mm
09
光學觀察
4X光學物鏡/2.5um分辨率
10
掃描速率
0.6Hz~30Hz
11
掃描角度
0~360°
12
運行環境
Windows XP/7/8/10操作系統
13
通信接口
USB2.0/3.0
14
減震設計
彈簧懸掛方式
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