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◆性能特點：
家實現樣品保持不動，探針移動掃描的商業化原子力顯微鏡。樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合超大的樣品檢測。
樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。
高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域。集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。
◆測量范圍及應用：
測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號
名稱
技術參數
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XYZ掃描方式
探針驅動式掃描，壓電陶瓷管掃描器
05
XY掃描范圍
100×100um
06
Z掃描范圍
10um
07
掃描分辨率
橫向0.2nm，縱向0.05nm
08
XY樣品臺
步進電機驅動控制，移動精度1um
09
XY移動行程
100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）
10
樣品載物臺
直徑100mm（可選200mm，300mm）
11
樣品重量
≤15Kg
12
Z升降臺
步進電機驅動控制，最小步長10nm
13
Z升降行程
15mm（可選20mm，25mm）
14
光學定位
10X光學物鏡
15
攝像頭
500萬像素數字CMOS
16
掃描速率
0.6Hz~30Hz
17
掃描角度
0~360°
18
運行環境
Windows XP/7/8/10操作系統
19
通信接口
USB2.0/3.0
20
儀器結構
龍門架式掃描頭，大理石底座
21
減震方式
氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱（可選主動式減震臺）
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